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新加坡实德科技有限公司北京办事处

  

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                 疑难解答
           

方块电阻不均匀

问题

可能原因

建议的解决方案

参考*

进气口过高

气体流率过高

  • 减小气体流率
  • 在船的进气端使用虚拟源片

环境气体

上游源片用尽

  • 替换源片
  • 定期将船反向

(1)

沉积时间太短

增加沉积时间

工艺参数

出气口过高

水分/空气回流

  • 增加气体流率
  • 提高管密封性

(2)

下游源片温度时间不足

  • 倾斜炉型
  • 使用慢加速,而不是直接插入

工艺参数

沉积时间太短

增加沉积时间

工艺参数

两端都过高

源片使用寿命将尽

替换源片

(1)

沉积时间太短

增加沉积时间

工艺参数

石英船在平坦区域外

重新检查炉型

 

硅的数据逐渐增加

氧化硅增长

  • 减少载气中的氧气
  • 检查校准质量流量计

环境气体

源片使用寿命将尽

替换源片

(1)

沉积时间太短

增加沉积时间

工艺参数

硅的数据急剧增加

源片受潮

  • 源片重新成熟
  • 替换源片

成熟

空气泄漏,管道破裂

检查配件和管

(2)

源片接触酸等

替换源片

硼源片的清洗
磷源片的清洗

非均匀运行到运行

贮存不当

提高存储质量

贮存

在管或载体受潮

检查配件,检查破管

(2)

沉积时间太短

增加沉积时间

工艺参数

源片使用早期变化过快

均衡进化速率不成立

增加必要的成熟时间

成熟

硅边缘高

气体流量过高

减少气体流量

环境气体

硅一边边缘高

源片边缘部分枯竭

  • 减少气体流量
  • 定期旋转源片在船上的位置
  • 使用过大源片

(6)